高性能非接触原子力显微镜系统设计与应用

原子力显微镜为微纳米技术的发展提供了纳米/原子级的测量/加工工具，因此它的研究进展在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用，并逐渐发展成为近年来微纳米研究领域的核心问题之一，其突破将极有可能为微纳米领域的研究带来新的发展契机。非接触原子力显微镜具有能实现原子范围操作，对样品和探针针尖损害小等优点，因而具有极其广泛的应用前景。本项目旨在设计与实现高性能的非接触原子力显微镜系统，并将其作为操作工具，开展超高密度存储器等纳米领域研究。具体而言，我们的研究将主要集中于以下几个方面：非接触原子力显微镜系统建模；样品与微悬臂尖端之间距离的观测器构造；非接触原子力显微镜系统的集成与实现；基于非接触原子力显微镜的超高密度存储技术探索。力争通过本项目的研究，提高我国在非接触原子力显微镜方面的研究与应用水平，进一步提升其测量性能，并在基于非接触原子力显微镜的超高密度存储器方面进行探索，促进我国微纳米技术的发展。