基于MEMS技术的微全分析系统芯片的研究

采用微电子技术与微机械加工技术，在硅衬底上设计制作集微温度传感器、微流量传感器、三温区微加热器、微流路沟道及微液流驱动系统于一体的硅芯片，采用静电封接技术将硅片与玻璃相结合，制成可供生物分析使用的具有特定功能的微全分析系统。研究各单元在设计、工艺制作及相互兼容性的理论及技术，为微全分析系统的开发应用奠定了良好的基础。