纳米晶CoNiFe软磁薄膜的电化学制备及其结构、性能的研究

采用PR、CV、EN、EIS、SEM/EDX、TEM、XRD、THEED，VSM和MOKE等实验技术，制备和优化出兼具优良抗蚀性能和综合软磁性能的CoNiFe纳米晶软磁合金，并进一步探究硼、磷等用于提高常见合金镀层耐蚀性能的元素对合金性能（包括综合软磁性能和抗蚀性能等）的影响；深入研究合金电沉积制备过程中的电沉积机理，特别是其初始"成核/生长"机制和异常共沉积机理；查明电沉积过程所表现的电化学特征（主要是电化学噪声和电化学阻抗谱特征与CoNiFe薄膜组成、结构和综合性能之间的关系），为微电子机械系统的高频化、微型化和节能化进程奠定坚实的基础。本项目的研究不仅发展了磁性纳米材料及相关功能材料的电化学制备方法和理论；而且对发展PR、CV、EN和EIS等实验技术均具有重要的理论意义和实用价值。