弹性波反演和地震层析方法的研究

本研究首次给出了利用标量区理论分析三维正交矩形光栅的衍射特性，并由此设计了光栅的结构参数。利用全息干涉和离子束刻蚀实际制备了23.4nm的软X射线三维矩形光栅，利用原子力显微镜、扫描电子显微镜以及台阶仪等手段分析了光栅的实际制作效果。另一方面，对软X光多层膜的研究给出了诸如不连续金属薄膜对反射率的影响、二级峰设计及实际制备反射膜的测量结果。对三维光栅软X射线衍射特性的具体分析，是由小角X射线衍射方法来证实的。几个样品的小角摇摆谱给出达到±2级的衍射峰出现。而另一类衍射元件软X射线分束镜的研制是光栅元件的补充。虽然本研究未能争取到实际应用机会，但以上结构分析与小角衍射分析表明。三维光栅等元件制作是成功的。