离子注入形成SIO结构的表面、界面物理性能研究

基本信息
批准号:19084002
项目类别:专项基金项目
资助金额:5.00
负责人:卢殿通
学科分类:
依托单位:北京师范大学
批准年份:1990
结题年份:1993
起止时间:1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:郑丽荣,苏梅宁,钱亚宏,苏颖,陈如意
关键词:
离子注入界面物理表面SIO结构
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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