本项目为所承担的项目"用于可变形飞行器的压电泵驱动器的研究"(项目批准号:90916011)的延续资助项目,提出利用压电叠堆作为驱动元件,通过MEMS阀实现液体的单向流动的压电泵驱动器,在前期研究基础上,进一步研究MEMS阀的力学性能,主要研究MEMS阀的动态力学性能,进行MEMS阀的力学建模,进行MEMS阀的优化设计,增强阀结构的可靠性,大幅提高压电泵的输出性能。
本项目为所承担的项目"用于可变形飞行器的压电泵驱动器的研究"(项目批准号:90916011)的延续资助项目,提出利用压电叠堆作为驱动元件,通过MEMS阀实现液体的单向流动的压电泵驱动器,在前期研究基础上,进一步研究了MEMS阀的力学性能。完成了MEMS阀在流体中悬臂梁微阀的动态分析、阀片开启压力分析、MEMS单向阀单元的仿真分析,设计并加工了基于SU8光刻胶的MEMS阀和基于电铸镍的MEMS阀,并对MEMS阀的过流特性进行了实验测试,为MEMS阀的使用提供基础。
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数据更新时间:2023-05-31
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