电子隧道传感器的理论与技术研究
基本信息
批准号：59875052
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：李庆祥
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：薛实福,白立芬,王云庆,于水,龙志峰,李云平
关键词：
电了隧道传感器
结项摘要
微型电子隧道传感器灵敏度极高，是传感器高精度、微型化、集成化一个重要的发展方向，具有良好的产业前景．本课题拟研究微硅电子隧道传感器的设计原理，IC与微机械加工技术；微型加速度计等的控制技术、信号检测与处理系统、性能测试，及其高精度、宽频带、低能耗、长寿命的产品化设计；传感器在低频条件下的设计改进及信号处理办法．.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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