材料各向异性光学常数非破坏性全自动椭偏测试系统

本课题对光轴垂直和平行于表面的各向异性的体材料和薄膜材料在单层和双层的情况下的椭偏测试理论进行了完善，建立了一套计算机化的可变媒质和可变角度全自动椭偏听偏仪测试系统，该系统在硬件方面实现了样品四维自由度的水平调节，样品方位角改变的计算机自动控制，信号处理无相移的同步测量。在软件上采用集成化的窗口设计模式，有一个全面直观的人机介面，具体实现了实验数据的自动采集和优化处理和计算。能得到材料的厚度，折射率等光学参量，对系统的可靠性进行了考证，分析了影响系统精度的原因，并进行了改进。该系统对Ti离子注入LiNbO3表面改性，Sol-Gel法制备SiO2-TiO2纳米复合薄膜的结构与光学性能研究及铁电复合膜的制备与性能研究进行了具体的使用。