提高并行式共焦测量系统信噪比和灵敏度的新技术

普通显微镜与扫描电子显微镜都已不可能完全满足半导体芯片在线检测的要求。共焦扫描显微镜填补了它们中间的空白，而且它在医学、生命科学、精细加工等领域也有广泛地用途。本项目提出一种全新的并行式的共焦非扫描测量方法，该方法具有现有共焦测量方法的优势外,还具有快速、高精度、易于消除杂散光以及结构简单等特点。