高束流离子注入材料改性的研究
基本信息
批准号：59871023
项目类别：面上项目
资助金额：15.00
负责人：柳百新
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陶琨,赖文生,高坤元,兰爱东,陈益钢,朱慧娜
关键词：
高束流离子注入金属间化合物金属硅化物
结项摘要
应用从金属蒸气真空弧离子源获得的多种金属高束流离子束来研究(i)金属间化合物的形成捌湓诒砻婷稚⑶炕械淖饔茫?ii)金属硅.（锗）化物的形成及其在电子器件应用中相氐奈锢硇阅堋Ｔ谙低车氖笛檠芯炕∩希紫裙槟沙鑫ㄏ蠊媛桑缓笊仙饺攘ρШ途迳ざρＰ汀
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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