低温烧结高性能ALN陶瓷及其热导和介电性能研究

系统研究了种氧化物和氟化物助烧结剂在氮化铝陶瓷低温烧结中的作用机制，描述了氮化铝陶瓷低温烧结中液相迁移的物理化学过程。在大量实验研究的基础上提出了过渡液相烧结和二次液相烧结理论。对比了不同助烧结剂系统及其添加量对低温烧结氮化铝陶瓷的显微结构和性能的影响规律，优化了配方和制备工艺，在1600℃-1650℃实现了氮化铝陶瓷的低温烧结。采用自行合成的YF3粉体，以YF3—CaF2作为助烧结剂，1650℃下保温6小时，所制备的AIN陶瓷的热导率高达208W/m-K，介电常数8.7，介质损耗3×10（-4）。以二甲苯/无水乙醇作为溶剂制备流延浆料，研究不同黏合剂、分散剂、增塑剂等对浆料特性的影响。成功进行了流延法生产氮化铝陶瓷基板的工业化试验。