长时间纳米测量、定位中的残余温度漂移可以用亚纳米的零位指示器归零消除.采用表面等离子体波原理构成的零位指示器具有亚纳米分辨率、探头直径大、探头工作距离长、接近过程有预报信号逐渐达到特征距离,探头不易损坏,适合超精加工使用.现有的原子力探针为接触测量,而光子隧道方法的探针细且工作距离小,容易损坏,不适于亚纳米指零.
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数据更新时间:2023-05-31
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