高气压氢等离子体活性物种诊断及提高氢原子产率研究

高气压氢等离子体已广泛有于化学气相沉积及化工合成研究等领域。本工作拟采用分子束质谱和发射光谱等技术在国际上首次对微波及介质阻挡放电氢等离子体中活性物种及电子温度密度进行诊断研究并建立更完善的动力学模型。研究加入氟氮烷等提高氢原子产率的作用机制，发现新的提高氢原子产率的添加物，将对氢等离子体的实验和理论研究提高到一新水平。