本研究提出了两个新的观点和一个新的结构。一个观点是:在振动模态两节点的中心激励可获得最大的振幅,这个结果不仅可为谐振器的优化设计提供理论基础,而且还对热驱动的执行器研究有参考价值。另一个观点是:采用二次谐波驱动振器可提高系统的信噪 比,这个结果为谐振器的闭环驱动提供了一个好的方法,为改善系统的整体性能提供了手段。一个新结构是;带尾纤的全光型微机械谐振器,这个结构解决了全光型微机械器件的光耦合问题,为全光型微机械器件的实用化提供了好的方法,具有明显的实用价值。通过本项目的实施,我们掌握了MEMS在光学应用时应注意的问题,并提出了相应的解决办法,为我国开展MEMS在光学领域中的应用打下了很好的基础。
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数据更新时间:2023-05-31
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