硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡及气敏性能研究

高效低成本制备介孔氧化锡气敏材料，同时与微电子加工工艺（MEMS）结合制备传感器是目前国际关注的热点之一。本项目拟发展硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡，并通过构筑微传感器研究其气敏性能。针对喷雾火焰原位沉积介孔二氧化锡过程，重点研究雾滴中的热质传递和化学反应特征，揭示火焰中湍流强度、溶剂蒸发燃烧速率、前驱体水解反应和模板剂结构导向作用等，对介孔二氧化锡材料结构及气敏性能的影响规律，探索高温气相燃烧过程中介孔结构的自组装机理，为喷雾燃烧沉积介孔二氧化锡的结构调控和微传感器的性能优化提供依据。

高效低成本制备介孔氧化锡气敏材料，同时与微电子加工工艺（MEMS）结合制备传感器是目前国际关注的热点之一。本项目建立了硅基电极表面喷雾火焰原位沉积介孔氧化锡的新方法，并通过构筑微传感器系统的研究了其气敏性能。针对喷雾火焰原位沉积介孔二氧化锡过程，重点研究了雾滴中的热质传递和化学反应特征，揭示火焰中湍流强度、溶剂蒸发燃烧速率、前驱体水解反应和模板剂结构导向作用等，对二氧化锡材料结构及气敏性能的影响规律，探索了高温气相燃烧过程中介孔结构的自组装机理，为喷雾燃烧沉积介孔二氧化锡的结构调控和微传感器的性能优化提供依据。项目执行期间，在国内外专业刊物上发表论文12篇，申请相关专利4项；培养博士研究生1名，硕士研究生3名。