为无源滤波器应用的高Tco低微波表面电阻的铊系大面积、双面薄膜的研制。解决的关键问题是表面微波电阻Rs要达到国际最低指标。大面积的薄膜成分与厚度要均匀。铊系(T1-2212)薄膜的最高Tco要争取达到110K,优质的T1-2223薄膜争取最高Tco可以达到125K,这种薄膜可以制备在100K下运行的微波器件。
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数据更新时间:2023-05-31
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