金属薄膜材料力学性能表征与评价

针对金属薄膜，用纳米压入法结合微电子机械相关技术研究屈服强度及弹塑性行为；用X光衍射结合基片弯曲法研究内应力及分布；用接触疲劳结合电磁法和鼓胀法研究静动态结合强度；在此基础上探讨薄膜静态和动态力学性能的差异；与基体材料比较发掘其特异的力学行为及规律。建立适用的薄膜力学性能表征方法和测试规范，用以指导薄膜设计与应用。