基于双折射薄膜与萨瓦偏光镜的同步移相菲索干涉测量技术研究

研究一种新颖的同步移相菲索干涉测量技术，其偏振菲索干涉光路是在传统菲索干涉光路中标准镜上镀双折射薄膜所形成，同步移相光路仅由平行分束棱镜与萨瓦偏光镜组成。偏振方向相互垂直的测量光束与参考光束进入同步移相光路后，平行分束棱镜与萨瓦偏光镜各自进行一维平行分束并分别产生90 与180 的相位延迟，同时利用萨瓦偏光镜进行检偏，在空间上形成四幅相移间隔依次为90 的移相干涉图像，该技术具有结构简单、易于操作、成本低、空间一致性高、分光一致性高、移相精度高等特点。构建同步移相菲索干涉测量实验装置，单帧采集四幅移相干涉图，在无隔振措施情况下其面形的重复测量精度?(RMS)?优于百分之一个波长。该研究是移相干涉测量技术与偏振光应用技术相结合的创新性应用基础研究，该研究成果将在抗振动面形检测、实时动态波前检测等领域中有着很好的应用前景。