钛/锌氧化物透明导电膜的制备与光电性能研究

掺杂ZnO和TiO2薄膜的光电性能虽说与ITO(铟锡氧化物)接近，但目前在应用上最主要的问题是未解决大面积高速成膜工艺。本课题的研究目的就是根据TiO2/ZnO为母体的半导体特征, 兼顾其透明与导电性能, 设计低成本、低温、大面积的成膜方法与条件，探索有实用化应用前景的工艺技术。研究不同掺杂、掺杂含量、薄膜厚度、制备工艺等条件对其透光率与导电性能的影响，为这一新型的透明导电膜能大范围替代现有的ITO薄膜提供实用化的成果。拟用溶胶凝胶法在低温下制备TCO薄膜，重点解决薄膜后热处理温度，使其适用于玻璃衬底及大多数有机物柔性衬底材料。解决化合物及盐类原材料在溶胶的制备过程中的不溶问题，替代醇盐以降低制备成本。以用途更为广泛的有机物柔性衬底为主，研究其结构择优取向或多晶薄膜与光电性能的关系。在机理方面,研究载流子散射过程以及对迁移率的影响,分析晶粒尺寸、载流子浓度、温度与霍尔迁移率的相关性。