多组元结构系统的蠕变特性及失效机理研究

以微机械、微电子器件、微反应器为典型代表的多组元结构或系统在较低温度下也会发生蠕变导致失效，其蠕变特性研究是一个多尺度、多层次的科学问题。本申请项目以国家科技发展战略和国家重大需求为牵引，综合运用基于细观粘弹性力学的理论分析、数值模拟和试验测试手段，重点研究：多组元结构的界面特性和微观结构对蠕变应力重分布的影响；粘弹性条件下多组元结构的平均场理论和蠕变变形的描述方法；相邻组元界面发生蠕变滑移变形的动力学机制。目标是在具有多层膜结构特征的微机械、微电子器件、微反应器等典型的多组元结构抗蠕变设计方面有所突破，初步形成细观蠕变力学的理论框架，为微机电器件的稳健设计提供理论支持。