研制和改进了可以产生高强度脉冲软X光的喷气式Z箍缩等离子体装置。这是国内目前唯一的一台这种光源。每次脉冲可以产生100J的软X光(其光子能量小于3KEV),持续时间约100nS,脉冲功率可达10(9)W。发光光源的尺寸约3mm长,直径1mm的圆柱体。这种光源可作为X光光刻和X光显微技术的软X光源。用激光差分干涉术研究了等离子体鞘层的运动,得出其径向压缩的速度可达14.7cm/μs。研究了超音速喷嘴的结构、充气气压、充气种类、放电电流等因素对脉冲软X光产额的影响,用PIN、XRD、热电堆、滤光片等研究了本X光源的特性;用本光源对光刻胶进行了初步曝光,认为软X光光强足够。用汤姆生谱仪对光源中所产生的离子束进行了能谱和种类的分析,以改进光源。
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数据更新时间:2023-05-31
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