干法刻蚀InP系材料表面损伤缺陷的研究
基本信息
批准号：68906004
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：2.00
负责人：朱洪亮
学科分类：
依托单位：中国科学院半导体研究所
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-01-01
项目状态： 已结题
项目参与者：陈纪英,任瑞英
关键词：
干法刻蚀ＩｎＰ表面损伤
结项摘要
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项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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