微纳表面结构的区域测量与表征方法研究

随着现代科技的发展，微纳米零部件和系统的尺度越变越小，表面结构及其特性已成为能否成功实现产品设计功能的主导因素，因而表面结构测量和评定越来越重要。区域法是国际标准化组织提出的最新的表面结构评定标准，本项目拟研究微纳表面结构的区域测量与表征方法。该测量方法基于大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统，将图像显微测量、白光干涉测量和纳米探针测量三种测量方法有机互融为一个整体，并根据测量需要进行自动切换，以满足更广泛的区域表面结构的测量要求。同时，基于该测量方法所获取的二维测量数据，实现区域表面结构分割，从而进一步实现对三维数据的分割和分类，以满足区域表面结构的表征要求。本项目的研究适用于微传感器、微机电系统（MEMS）、纳米电机系统（NEMS）、光学器件等的结构表面的测量和表征。在精密及超精密加工和半导体光刻等领域中，具有广泛的应用前景。